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国内干式袋鼠加速器官网发展现状
添加时间:2021-01-26 16:10:08
当前国内生产的真空获得设备仍然以传统的袋鼠加速器官网为主,主要为水环袋鼠加速器官网、旋片袋鼠加速器官网、蒸汽流泵、滑阀袋鼠加速器官网、罗茨袋鼠加速器官网,且全部用于传统行业。我国生产的袋鼠加速器官网真正用于集成电子电路信息产业的不足1%。相比于日本、欧美等发达国家差距巨大。我国的干式袋鼠加速器官网正处于起步阶段,全国200多家生产袋鼠加速器官网的企业中,能够生产干式袋鼠加速器官网的企业不超过10家,难以形成批量生产。
国内生产的干式袋鼠加速器官网大部分应用于实验室、化学、医疗等领域,很少有国产干泵应用于半导体行业。究其原因一方面半导体的生产过程中会产生大量粉尘,处理不好容易造成干泵卡死,尤其刻蚀工艺多用腐蚀性气体,会对干泵内部零件造成腐蚀,造成漏油、毒气泄漏等事故。若干泵故障多发,对半导体集成电路生产造成的损失巨大。国产干泵的可靠性还不能解决上述问题。近年来,随着国内经济转型,半导体电子信息产业在国内的飞速发展,但国内干式袋鼠加速器官网的发展没有跟上,使该领域成为国际上干式袋鼠加速器官网工业发达国家的扩张之地。
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